ブリヂストン、高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」が「環境賞」優秀賞

ブリヂストンが独自に開発した高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」が、日立環境財団と株式会社日刊工業新聞社が主催する平成22年度（第37回）「環境賞」優秀賞を受賞した。

環境賞とは、1974年に発足した表彰制度であり、環境への負荷が少なく持続的発展が可能な研究・開発・調査について、画期的な成果を上げるか、その成果が期待される、個人・企業・団体を表彰するもので、ブリヂストンの製品が環境賞を受賞するのは今回が初。

高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」は、ブリヂストンが独自に開発したSiC（炭化ケイ素）からなる焼結体 で、純度が高く、耐食性に優れ、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持ち、1000℃以上の高温にも耐え得る優れた特性をもっている。既に、半導体製造プロセスにおける各種製造装置の部品として、多くの半導体製造装置メーカーやデバイスメーカーに使用している。

半導体製造装置の部品としてこれまで一般的に使用されている石英（二酸化ケイ素）やシリコン（ケイ素）等は、使い捨てされることが一般的だったが、高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」は、上記の優れた特性により、洗浄して繰り返し使用することができ、長期使用が可能なため、省資源化による環境貢献度が高く、半導体製造プロセスのコスト削減にも寄与する。

また、ブリヂストンは現在、次世代半導体ウエハ（基板）としての活用が期待される「SiC単結晶ウエハ」の開発にも着手しており、早期実用化に向け開発に取り組んでいる。